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光學掃描式成像測量機輪廓儀，以光學成像測量系統為基礎，配合高精度運動機構和花崗巖龍門式底座，實現了測量精度、速度、穩定的**結合；結合高精度圖像分析算法，并融入閃測原理，在測量范圍內，任意擺放工件位置、方向、角度，儀器都可自動定位測量對象、匹配模板、測量評價、報表生成，真正實現快速精準測量。

?SJ5730-100小型輪廓測量儀采用超高精度衍射光學測量系統、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能伺服驅動電機、高性能計算機控制系統技術，能實現對工件表面粗糙度和輪廓進行高精度測量和分析。

?SuperViewW系列3d輪廓一鍵測量儀也叫白光干涉儀是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域，除了白光干涉儀，其它儀器達不到檢測的精度要求。

SJ5718-PR一鍵式輪廓度測量儀器除了具有高科技含量外，還將測試表面粗糙度和表面輪廓兩種功能有機地設計在同一臺儀器上，其輪廓及粗糙度測量功能可互換，更適合于深孔測量的粗糙度模塊，是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器。

?中圖儀器輪廓測量儀SuperViewW1是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

SuperViewW1非接觸3d光學輪廓儀器的X/Y方向標準行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。